微型光谱仪的发展  

Development of micro spectrometers

作　　者：鞠挥[1] 吴一辉[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130022

出　　处：《微纳电子技术》2003年第1期30-37,共8页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：随着MEMS、微光学等微制造技术的发展,光谱仪器的微型化成为可能,光谱仪的微型化是光谱仪器的一个重要发展方向。本文根据国内外正在进行的微型光谱仪的研制工作,对微型光谱仪的发展进行了比较全面的综述,最后对研究微型光谱仪的意义进行了总结。It becomes possible to miniaturize spectrometers with the development of microfabrica-tion techniques such as MEMS ,microoptics.The miniaturization of spectrometers is an important way to develop spectral analysis instruments.It is reviewed the progress of the micro spectrometer in detail according to the researching projects domestics and abroad,and summarized the signifi-cance of micro spectrometers.

关 键 词：微型光谱仪 微机电系统 微光学 微制造技术 

分 类 号：TH744.1[机械工程—光学工程] TP212[机械工程—仪器科学与技术]