SMA/Si复合膜微驱动器图案优化设计  

Optimization of Pattern Design of SMA/Si Composite Membrane Microactuator

作　　者：陈鉴[1] 程秀兰[1] 徐东[1] 王莉[1] 蔡炳初[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心,上海200030

出　　处：《微细加工技术》2001年第3期18-21,73,共5页Microfabrication Technology

基　　金：高等学校博士学科专项科研基金资助课题 (2 0 0 0 0 2 4 813)

摘　　要：图形化SMA薄膜的图案及其结构参数的选择对SMA/Si复合驱动膜的性能有决定性的影响 ,利用有限元方法对两种图案设计进行了对比分析。通过结构分析和温度场分析 ,圆形电阻条变宽的设计有助于进一步提高驱动膜的性能。仿真结果对于优化驱动膜的设计具有指导意义。Pattern design and its parameters for patterning SMA thin films are crucial for the performance of the SMA/Si composite membrane microactuaotr. Two different pattern designs are compararively analysed in FEM. By means of structural analysis and coupled thermal-elecrtical analysis, it shows that spiral strips with nonuniform width will improve the performance of the actuator further. The simulation results are helpful for the optimization of the microactuator structure.

关 键 词：SMA 硅 复合膜 微驱动器 形状记忆效应 双金属效应 优化设计 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]