基于厚膜技术E型三维加速度传感器的设计  

E-type 3-D Accelerometer's Design Based on Thick Film Technology

作　　者：吴仲城[1] 戈瑜[1] 虞承端[1] 

机构地区：[1]中国科学院智能机械研究所传感技术国家重点实验室,合肥市230031

出　　处：《仪表技术与传感器》2001年第9期3-5,共3页Instrument Technique and Sensor

基　　金：传感器技术国家重点实验室基金支持

摘　　要：提出采用厚膜技术设计一种一体化三维加速度传感器 ,其采用E型结构和特殊的组桥方式实现对三维加速度信息的检测。介绍了传感器的结构 ,并详细讨论了传感器工作原理和维间耦合问题。由于E型结构的对称性 ,使得所设计的三维加速度传感器在低量程、高灵敏度应用场合中具有良好的特性。A monolithic 3-D accelerometers,based on thick film technology and E type structure,is offered in this paper.By four pinzoresistance sensing elements placed in three different axis directions on the transducer,the 3-D aeceleration information can be obtained by special Wheatstone bridges.Especially,the sensor's structure, working principle and cross-axis sensitivities were also discussed in details.For the symmetric stmcture,the sensor has good performance in low range and high sensitivity measurement application.

关 键 词：厚膜技术 三维加速度传感器 E型结构 维间耦合 设计 

分 类 号：TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]