虞承端

作品数：4被引量：18H指数：2
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供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
发文主题：E型厚膜技术三维加速度传感器微力传感器LIGA技术更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信医药卫生自然科学总论更多>>
发文期刊：《中国康复》《电子元器件应用》《世界电子元器件》《仪表技术与传感器》更多>>
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基于厚膜技术E型三维加速度传感器的设计被引量：11
《仪表技术与传感器》2001年第9期3-5,共3页吴仲城 戈瑜 虞承端 
传感器技术国家重点实验室基金支持
提出采用厚膜技术设计一种一体化三维加速度传感器 ,其采用E型结构和特殊的组桥方式实现对三维加速度信息的检测。介绍了传感器的结构 ,并详细讨论了传感器工作原理和维间耦合问题。由于E型结构的对称性 ,使得所设计的三维加速度传感器...
关键词：厚膜技术 三维加速度传感器 E型结构 维间耦合 设计 
微机械加工技术与微传感器被引量：3
《电子元器件应用》2001年第5期29-32,共4页虞承端 
传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术则是硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本文介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。
关键词：微机械加工 微传感器 LIGA技术 
电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用被引量：2
《世界电子元器件》2001年第2期50-52,共3页孔德义 虞承端 梅涛 陈永 李科 熊小义 
一、引言 微力传感器在微量称重、液体表面张力分析以及生物体微组织力测量等领域具有广阔的应用前景.我国以前自主研制的微力传感器基本上都是采用半导体应变片和扩散硅制成的压阻式传感器,其主要缺点是漂移较大,要实现高精度测量与长...
关键词：电化学腐蚀技术 硅谐振式 微力传感器 应用 
电子肌力仪——一种新型实用的肌力定量化检查工具被引量：2
《中国康复》1991年第4期187-189,共3页窦祖林 杨煜普 周平 虞承端 
为了开展肌力定量化研究,我们共同研制成功MVC-Ⅰ型电子肌力仪。本仪器适用范围广,可测量身体大小肌群最大等长随意收缩力(maximal voluntary isometric contraction MVC),能准确快速地以数字显示所测值,使用方便,是康复临床肌力评定较...
关键词：电子肌力仪 肌力 测量仪 
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