微机械加工技术与微传感器  

Micromachining for Fabricating Microsensors

作　　者：虞承端[1] 

机构地区：[1]中科院合肥智能机械研究所,合肥230031

出　　处：《电子元器件应用》2001年第5期29-32,共4页Electronic Component & Device Applications

摘　　要：传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术则是硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本文介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。Sensor micromation is one of the important development trends of sensor technology. Micromachining is the fundamental technology for fabricating microsensors, also that for fabricating microactuators and microelectron mechanical systems (MEMS). In this paper, the survey of micromachining technology is presented, then some microsensors fabricated with that technology are introduced.

关 键 词：微机械加工 微传感器 LIGA技术 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN405[自动化与计算机技术—控制科学与工程]