集成光学超净室环境保持及专业设备维护保养  

Envirenment maintenmace of a superclean room for integrated optics and service of the special equipment

作　　者：郭亚明[1] 

机构地区：[1]北京航空航天大学五研

出　　处：《中国设备工程》2001年第8期24-25,共2页China Plant Engineering

摘　　要：叙述环境及洁净度对集成光学专业超净室的重要性，及超净室内专业设备的常规维护保养方法。

关 键 词：集成光学 超净室 光刻 镀膜 研磨 设备维护 

分 类 号：TN491[电子电信—微电子学与固体电子学]