郭亚明

作品数：4被引量：11H指数：3
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供职机构：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院更多>>
发文主题：集成光学研磨光刻实验室管理镀膜更多>>
发文领域：电子电信文化科学更多>>
发文期刊：《中国设备工程》《实验技术与管理》《半导体技术》更多>>
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开放式测试实验室建设被引量：5
《实验技术与管理》2006年第3期106-108,共3页万聪梅 梁帆 周浩敏 郭亚明 
将分散的独立实验项目综合起来，充分利用建设资源，建立起一个统一的开放式实验室。通过采用先进的网络技术，将测试实验的教学集中管理起来，有利于综合比较和客观评价学生的实验效果，提高实验教学的水平。同时通过内部网上信息共享...
关键词：开放式实验室 测试实验平台 实验室管理 实验室建设 
集成光学制备工艺中的清洗和腐蚀
《半导体技术》2005年第1期32-34,共3页郭亚明 
论述了集成光学光刻、镀膜工艺中对基片的清洗步骤,阐述了常规材料的腐蚀方法及腐蚀液配制,并分析了腐蚀工艺过程中易出现的问题。
关键词：超声波清洗 干法/湿法腐蚀 浮胶 晶片再生 
建设“211工程”项目——北京航空航天大学集成光学实验室被引量：3
《实验技术与管理》2001年第6期111-113,共3页郭亚明 杨远洪 
文章介绍了国家"211工程"支持项目--集成光学实验室作为重点学科建设的目的及实验室设施、没备、结构等功能特点.闸述了目前实验室建设取得的成绩及今后的研究发展目标.
关键词：集成光学 超净室 光纤器件 光刻 研磨 蒸发镀膜 实验室建设 
集成光学超净室环境保持及专业设备维护保养被引量：4
《中国设备工程》2001年第8期24-25,共2页郭亚明 
叙述环境及洁净度对集成光学专业超净室的重要性，及超净室内专业设备的常规维护保养方法。
关键词：集成光学 超净室 光刻 镀膜 研磨 设备维护 
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