两类无油超高真空系统的实验方法  

Experimental methods for two kinds of non-oilultra high vacuum system

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作  者:任多敏[1] 谢 宁[1] 

机构地区:[1]中国科学技术大学天文与应用物理系

出  处:《物理实验》2001年第12期13-15,共3页Physics Experimentation

摘  要:对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍,并对它们相关的特性进行了讨论.Abstract: The structures and operating methods of turbo molecular pump with non-oil ultra high vacuum system and sputter ion pump with non-oil ultra high vacuum system are introduced, and their relevant characters are discussed.

关 键 词:涡轮分子泵 溅射离子泵 无油超高真空系统 结构 实验方法 

分 类 号:TB753.3[一般工业技术—真空技术] TB752.27

 

参考文献:

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