MMIC在片测试探头的研究与设计  

The Study and Design of MMIC On-Wafer Probe

作　　者：周凌云[1] 王卫东[1] 樊德森[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学毫米波实验室,合肥230027

出　　处：《微波学报》2001年第4期80-84,共5页Journal of Microwaves

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目 (6 9332 0 13)

摘　　要：微波单片集成电路 (MMIC)在片测试技术是应用于 MMIC和高速集成电路研究、生产的新型测试技术。 MMIC在片测试探头是 MMIC在片测试系统的关键部件。本文研究并设计了介质基片共面波导 (CPW)探头 ,测试并分析了探头性能。该探头在 2～ 18GHz范围内插入损耗小于 1.5 d B,回波损耗大于 16 dMMIC on-wafer measurement is applied in the field of MMIC and high-speed IC.MMIC on-wafer probe is the key part of MMIC on-wafer measurement system. A kind of coplanar waveguide (CPW) probe is designed, its characteristics are measured. The insertion loss of the probe at 2~18GHz is less than 1.5dB while the return-loss is larger than 16dB.

关 键 词：微波单片集成电路 在片测试 在片测试探头 共面波导 

分 类 号：TN406[电子电信—微电子学与固体电子学]