在片测试

作品数：31被引量：44H指数：3
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相关作者：刘军陈金远吴亮王一帮梁法国更多>>
相关机构：中国电子科技集团第十三研究所中国电子科技集团公司第五十五研究所中国科学院杭州电子科技大学更多>>
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超表面硅光偏振分束器制备及测试被引量：1
《光学学报》2024年第19期289-295,共7页朱仕杰 王路 石昊 赵俊 吴衍青 张磊 李镇江 龙家丽 杨树敏 邰仁忠 
国家重点研发计划(2017YFA0206002,2017YFA0403400)。
根据梯度指数物理模型设计的超表面硅光偏振分束器方案,在绝缘体上硅(SOI)平台上利用电子束光刻(EBL)和电感耦合等离子体刻蚀(ICP)等微纳加工手段完成了器件的制备。该方案针对该超表面器件的制造要求优化了制备工艺,所制备的器件超表...
关键词：硅基光电子 超表面 偏振分束器 电子束光刻 电感耦合等离子体刻蚀 在片测试 
矢量网络分析仪校准与程控研究
《电子工业专用设备》2023年第6期33-40,87,共9页包敖日格乐 左宁 胡奇威 张光宇 张铎 
射频集成电路晶圆级S参数测试是射频器件制作过程中重要的工艺环节,该测试技术依赖微波探针测试系统,微波探针测试系统由矢量网络分析仪、探针、精密运动工作台、承片卡盘、机器视觉系统、测试电缆等组成。其中矢量网络分析仪是探针测...
关键词：矢量网络分析仪 S参数 射频器件在片测试 微波探针测试系统 
基于InP工艺的小型化亚太赫兹人工表面等离子体激元传输线设计被引量：1
《光学学报》2022年第21期198-203,共6页朱华利 张勇 黎雨坤 叶龙芳 魏浩淼 刘晓宇 徐锐敏 延波 
国家自然科学基金(61871072)。
提出了一种基于人工表面等离子体激元(SSPPs)的亚太赫兹片上传输线,并在InP工艺基础上对其进行了结构设计和实物加工。为减小传统矩形槽SSPPs结构的占地面积,提出了一种折叠型SSPPs结构,在相同的渐近频率下,该结构的占地面积缩小了57.2...
关键词：表面光学 人工表面等离子体激元 传输线 InP工艺 太赫兹 在片测试 
毫米波肖特基二极管表征和在片测试方法
《红外与毫米波学报》2022年第5期856-862,共7页张傲 高建军 
国家自然科学基金重点项目(62034003)。
本文分析了单口和双口毫米波频段肖特基二极管的测试方法并设计了相应的测试版图,计算了截止频率随寄生电阻和零偏本征电容的变化曲线,给出了小信号和大信号等效电路模型。利用两个实际肖特基二极管测试实例对器件的小信号模型参数进行...
关键词：肖特基二极管 测试 参数提取 小信号模型 
一种9端口微波多功能收发芯片在片测试技术被引量：2
《半导体技术》2022年第4期332-335,共4页陈兴 樊渝 李梦琪 
多功能芯片由单入单出单通道升级为多入多出多通道收发芯片,并大量应用于现代通信领域。针对多收发通道多功能芯片测试过程中,多次移动探针、重复压针、无法自动测量、测试效率低等不足,研究了多端口在片校准技术。通过去嵌入校准方法,...
关键词：多功能芯片 多通道 共面探针 去嵌入 S参数 
110 GHz在片16项误差模型校准件定值方法研究被引量：4
《计量学报》2021年第3期365-369,共5页王一帮 周瑞 陈婷 吴爱华 刘晨 梁法国 
现有商用集总参数校准件电路模型使用简便,但由于校准件电路模型的不完善、电路中参数在提取过程中采用拟合算法等原因,导致其定值准确度受限。从用于高频串扰修正的16项误差模型校准件设计入手,给出了校准件高精度的定值方法——即通...
关键词：计量学 在片测试 16项误差模型 校准件定值 Multiline TRL 串扰 
GaAs多功能MMIC在片测试系统设计被引量：1
《电子与封装》2021年第3期32-35,共4页陈金远 焦芳 王逸铭 林罡 
GaAs多功能MMIC集成度高,数模混合驱动及测试需求考验测试平台的兼容性和稳定性。采用PXI平台模块化测试仪器结合矢量网络分析仪设计多功能MMIC在片测试系统,满足GaAs多功能MMIC的数模混合信号驱动、检测需求,保证测试稳定性。
关键词：多功能MMIC PXI 逻辑电路 模块化仪器 
一种基于双工器的谐波有源负载牵引测试系统被引量：2
《杭州电子科技大学学报（自然科学版）》2020年第6期6-12,共7页郭庭铭 苏江涛 刘军 王飞 
国家自然科学基金资助项目(61827806,61871161);浙江省自然科学基金资助项目(LZ17F010001)。
大信号有源负载牵引测试系统是评估微波毫米波功率器件的非线性特性的重要手段。介绍谐波有源负载牵引测试的基本原理及其测试系统的基本结构,并设计一种基于低损耗同向双工器的谐波有源负载牵引系统。在不使用低通滤波器的情况下,对基...
关键词：同向双工器 有源负载牵引测试 射频功率器件 在片测试 
一体化晶圆级MMIC自动测试技术研究被引量：1
《国外电子测量技术》2020年第12期95-103,共9页丁旭 王志宇 
提出了一种一体化晶圆级微波单片集成电路(MMIC)自动测试技术方案,对矢量网络分析仪主控接口进行深度开发,采用以工控机和矢量网络分析仪为核心的双核控制拓扑结构,基于三级软件驱动架构编写系统自动测试软件,融合了扩展OSL去嵌法、在...
关键词：在片测试 MMIC自动测试系统 双核控制模式 扩展OSL去嵌 校准验证模型 
在片微波参数测量系统计量技术进展被引量：4
《微波学报》2020年第4期95-100,共6页黄先奎 
在片微波参数测量系统主要通过探针台建立微波仪器与半导体裸芯片之间的信号连接通道,从而测量半导体裸芯片的微波参数。在片微波参数测量系统对提升芯片的性能,控制质量,保证芯片的一致性和稳定性方面具有重要的意义。国外相关的计量...
关键词：在片测试 裸芯片 S参数 噪声参数 负载牵引 
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