微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析  

FAILURE ANALYSIS OF MICROACCELEROMETER UNDER IMPACT LOADING

作　　者：王立森[1] 胡宇群[1] 李志宏[2] 余同希[2] 赵亚溥[1] 

机构地区：[1]中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 [2]香港科技大学机械工程系

出　　处：《机械强度》2001年第4期516-522,共7页Journal of Mechanical Strength

基　　金：国家"973"项目"集成微光机电系统研究";国家自然科学基金项目 (1 992 82 0 5 ;1 0 0 72 0 68);"中科院力学所-香港科大微系统所的微系统研究联合实验室"

摘　　要：抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁结构的整体破坏和微结构在横向之间的粘附。应用拟静态和能量方法给出微结构在冲击载荷下的响应。Shock-resistibility is a major performance index for accelerometer. Drop test is a effective way test for the test of structures subjected to shock load. The failure modes of a folded flexure micro-accelerometer are verified by drop test. Two typical failure modes are observed: Complete rupture or fragmentation of beams and stiction between moving parts. Pseudo-static and energy conservation method are used to analyze, the response of the structure under this kind of impact load.

关 键 词：微加速度计 体硅加工工艺 冲击载荷 失效分析 粘附 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术] TH－39[机械工程—精密仪器及机械]