PZT厚膜UCPBG结构的射频天线研究  

Study of PZT Thick Film and UCPBG Based RF-antenna

作　　者：林州 任天令[1] 赵宏锦[1] 刘理天[1] 

机构地区：[1]清华大学微电子学研究所,北京100084

出　　处：《压电与声光》2001年第5期397-401,共5页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金："九七三"国家重大基金研究项目 ( 19990 3310 5 )

摘　　要：采用了丝网印刷工艺在硅片上制备了锆钛酸铅 (PZT)薄膜 ,进行了相应的工艺分析。设计并仿真了平面光子带隙 (UCPBG)结构 ,测试了结构的电磁参数 ,证实了结构的可行性。在此基础上提出了一种基于 PZT厚膜工艺和平面光子带隙结构的微型射频 (RF)Lead zirconate titanate(PZT)thick film is fabricated upon silicon substrate by using the screen printing technology.The experiment result is analyzed.UCPBG(uniplanar compact photonic bandgap)structure is designed and simulated.The electromagnetic parameters of the structure are tested to certify the correctness of the algorithm.The structure and technology design of a PZT thick film and UCPBG based miniature radio frequency antenna is brought out.

关 键 词：丝网印刷 锆钛酸铅 射频天线 PZT厚膜 UCPBG结构 

分 类 号：TN82[电子电信—信息与通信工程]