温度对薄膜渗氦型漏孔漏率的影响研究  

RESEARCHES ON TEMPERATURE EFFECTS ON LEAKAGE RATE OF HELIUM PERMEATING LEAK

作　　者：冯焱[1] 张建军[1] 张涤新[1] 

机构地区：[1]兰州物理研究所,甘肃兰州730000

出　　处：《真空与低温》2001年第4期200-203,共4页Vacuum and Cryogenics

摘　　要：介绍了气体微流量标准装置对漏率的校准方法。在温度 16～ 5 0℃范围内 ,对两支薄膜渗氦型漏孔进行了校准 ,并给出了温度与漏率的关系表达式。得出了研究结论。The calibration method of leakage rate with the gas low range standard apparatus is introduced.Two helium permeating leaks have been calibrated in the range of temperature from 16℃ to 50℃ and the relation expressions between temperature and leakage rate are presented.

关 键 词：漏率 校准 薄膜渗氦型漏孔 温度 真空检漏 校准装置 

分 类 号：TB774[一般工业技术—真空技术]