KrF光刻:使命未尽  

KrF Lithography: Not Finished-Yet

作　　者：AaronJ.Hand 立文 

机构地区：[1]Semiconductor International Editorial Offics

出　　处：《电子工业专用设备》2001年第3期49-52,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

关 键 词：光刻设备 KRF激光 光源 光学光刻 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TN245