微机电系统中微摩擦特性及控制研究  

STUDY ON PERFORMANCES OF MICRO-FRICTION AND ITS CONTROL IN MEMS

作　　者：刘莹[1] 温诗铸[2] 

机构地区：[1]南昌大学机电工程学院,南昌330029 [2]清华大学

出　　处：《机械工程学报》2002年第3期1-5,共5页Journal of Mechanical Engineering

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目(59735110)。

摘　　要：针对微机电系统设计中存在的微摩擦问题，论述了开展微观摩擦研究的意义和必要性。全面总结了微摩擦基本特性研究的进展，包括微观摩擦与宏观摩擦的对比，微观摩擦与表面形貌的相关性，以及粘滑现象等。提出了控制微摩擦特性的一些主要研究方向。：Based on the existing problems of micro-friction in MEMS design, the significance and needs of study on micro-friction are discussed. The progress of research on elemental performances of micro-friction is summarized, including micro-friction in comparison with micro-friction, relation between micro-friction with surface topography and mechanism of stick-slip. The main research directions for controlling micro-friction properties are proposed as well.

关 键 词：微机电系统 微摩擦 控制 表面形貌 粘液 

分 类 号：TH－39[机械工程] TH117.1