国外SiGe器件及其应用  

SiGe Devices and their Applications

作　　者：盛柏桢[1] 程文芳[1] 

机构地区：[1]南京电子器件研究所,南京210016

出　　处：《微电子技术》2002年第2期4-13,共10页Microelectronic Technology

摘　　要：本文主要叙述SiGe器件的材料。The SiGe devices are introduced in the paper,including materials,technology and their applications.

关 键 词：锗-硅器件 半导体工艺 半导体器件 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]