LIGA技术及其在微驱动器中的应用  

LIGA technologies and their applications in microactuators

作　　者：陈刚[1] 张立彬[1] 胥芳[1] 

机构地区：[1]浙江工业大学机电工程学院,浙江杭州310014

出　　处：《微纳电子技术》2002年第3期33-38,共6页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状。给出LIGA技术在微驱动器中的应用。LIGA process and the actualities of multiple masks technology,replication technolo gy and contour polishing tech nology are introduced.The application of LIGA technologies in mi croactuators are presented.

关 键 词：多层掩模技术 复制技术 外形磨削成型技术 LIGA技术 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]