通信LSI/VLSI工艺  

Telecommunication LSI/VLSI Manufacturing Techniqnes: An Overview

作　　者：刘三清[1] 秦祖新[1] 

机构地区：[1]华中理工大学,武汉430074

出　　处：《微电子学》1991年第6期51-55,共5页Microelectronics

摘　　要：本文介绍通信LSI/VLSI电路制作技术中目前比较通用的工艺。总的来说,通信电路工艺是以前LSI/VLSI22艺的继续和发展。文中论述的重点是那些和过去LSI/VLSI工艺不同的方面,而这些方面主要体现在模拟电路的制作工艺上。The manufacturing techniques so far used in telecommunication LSI/VLSI circuits are described. Telecommunication LSI/VLSI processing is essentially the continuation and extension of up-to-date LSI/VLSI manufacturing techniques. Discussion is stressed on those different from commonly used LSI/ VLSI processing, especially in the analog field.

关 键 词：通信 LSI/VLSI 工艺 

分 类 号：TN91[电子电信—通信与信息系统]