快速响应SOI马赫曾德热光调制器  

Mach-Zehnder Interferometer Thermo-Optical Modulat orwith Fast Response

作　　者：魏红振[1] 余金中[1] 夏金松[1] 严清峰[1] 刘忠立[1] 房昌水[2] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京100083 [2]山东大学人工晶体研究所,济南250100

出　　处：《Journal of Semiconductors》2002年第5期509-512,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :698962 60 ;69990 5 40 ) ;国家科技部"973"计划 ( No.G2 0 0 0 -0 3-66)资助项目~~

摘　　要：给出了 Y分支 MZI热光调制器的模型 ,实验研制了基于 SOI( silicon- on- insulator)的 MZI热光调制器 ,调制器的消光比为 - 16.5 d B,开关的上升时间为 10 μs,下降时间为 2 0 μs,相应的功耗为 0 .3A Mach-Zehnder interferometer thermo-optical m od ulator based on SOI (silicon-on-insulator) is reported.At operating wavelength 1.55μm,the measured extinction ratio is -16.5dB with a rising time of 10μs and down time of 20μs,while power consumption with π phase shift is about 0. 39W.

关 键 词：集成光学 调制器 SOI 热光开关 

分 类 号：TN36[电子电信—物理电子学]