非晶硅太阳电池的激光刻划  

Laser Scribing System for Amorphous Silicon Solar Cells

作　　者：王又良[1] 施亚玲[1] 苏小荣[1] 严淑敏[1] 徐红[1] 蒋加文 李连华[1] 沈玉明[1] 龚焕明 钟伯强[2] 

机构地区：[1]上海市激光技术研究所 [2]中国科学院上海硅酸盐研究所

出　　处：《应用激光》1991年第3期110-114,共5页Applied Laser

摘　　要：对一台用于非晶硅太阳电池的激光刻划和计算机控制系统进行了理论分析,成功地完成了非晶硅和透明导电膜的刻划工艺。In this paper,we described a laser scribing system for fabrication of a-si solarcells and its theoretical analysis.The system has been used to scribe the TCO and a-si filmsin the production.

关 键 词：太阳能电池 激光刻划 计算机控制 

分 类 号：TM914.4[电气工程—电力电子与电力传动]