半导体工艺技术与半导体设备的关系  被引量:7

Relationship between Processing Technology and Equipment of Semiconductor Industry

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作  者:颜燕[1] 

机构地区:[1]信息产业部电子58所,无锡214035

出  处:《微电子技术》2002年第3期27-32,共6页Microelectronic Technology

摘  要:半导体工艺技术的发展涉及多门学科和多种因素 ,而其中半导体设备的作用至关重要。本文以世界上最大的半导体设备制造商———美国应用材料公司 (AppliedMaterialsCO .)生产的众多半导体设备中的刻蚀设备的发展为主线 ,从一个侧面阐述了半导体工艺技术的发展与半导体设备的密切关系。The development processing technology of semiconductor industry depends upon multiscience and many other factors. The influence of equipemnt upon the development is very important. Let's take The Applied Materials Co.Ltd, which produced many types of etching equipment, as in example to illustrate the relationship between processing technology and equipment of semiconductor industry.

关 键 词:缺陷密度 刻蚀 介质 

分 类 号:TN301[电子电信—物理电子学]

 

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