化学气相沉积的金刚石膜标准制定中应考虑的问题  

作　　者：杜素梅[1] 罗廷礼[1] 等 

机构地区：[1]河北省科学院中试基地，河北050081

出　　处：《工业金刚石》1999年第3期17-19,共3页

摘　　要：静压法合成的单晶人造金刚石和人造金刚石微粉，就品种，技术条件，包装，杂质检验，抗压强度测定方法，粒度组成等有关问题，已经建立了国家标准。化学气相沉积法制取的金刚石膜因出现的时间短还未建立起有关标准。化学气相沉积金刚石膜的方法有热丝法，微波法和直流电弧等离子体喷射法三类，本文就直流电弧等离子体喷射化学气相沉积的自支撑人造金刚石膜标准的制定中应考虑到的一些问题提出了我们的看法。

关 键 词：化学气相沉积 金刚石膜 标准 制定 静压法 

分 类 号：TQ163[化学工程—高温制品工业]