成像激光雷达中的MEMS振镜振动特性研究  

Vibration Performance Researching in the MEMS Galvanometer of an Imaging Lidar System

作　　者：曲杨[1] 王春晖[1] 庞亚军[1] 唐甜甜[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学光电子技术研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《光学学报》2014年第13期154-157,共4页Acta Optica Sinica

基　　金：基金项目：国家自然科学基金（61078063）

摘　　要：分析了激光成像雷达系统中的微机电系统（MEMs）振镜的振动特性，对影响MEMS振动角度的关键因素：频率和驱动电压对振动角度的影响进行了实验测量。研究结果表明，选择60～200Hz要求的扫描频率、60V以上的驱动电压可以实现角度相对较大、同时又能满足系统64～256s^-1分辨率要求。The micro electro mechanical system （MEMS） galvanometer of an imaging lidar system is analyzed, experiment measures the key elements of the vibration performance of MEMS： frequency and driving voltag. The results show that scanning in the frequency of 60~ 200 Hz and driving voltage belove 60 V can make wide angle scanning and satisfy the demand of 64~ 256 I3oint per second.

关 键 词：成像系统 激光成像雷达 微机电系统 频率 角度 

分 类 号：O436[机械工程—光学工程]