LTCC在微流控系统中的应用  

Overview on LTCC microfluidic device fabrication

作　　者：秦跃利[1] 高能武[1] 

机构地区：[1]中国西南电子设备研究所,四川成都610036

出　　处：《电子元件与材料》2014年第11期1-4,共4页Electronic Components And Materials

摘　　要：介绍了LTCC腔体和微流道的用途、结构形式以及腔体的制作方法。详细分析了LTCC空腔在层压和共烧时产生变形的原因。介绍了采用碳基牺牲材料以及无牺牲材料形成内埋置通道的方法。最后介绍了LTCC微流控系统在水质检测中的应用。Briefly introduce the structure and the application of LTCC cavity and microfluidics, as well as the fabrication method. Analyze the reason of LTCC cavity deformation when it is laminated and sintered. Expound the method of controlling cavity deformation with filling carbon sacrificial material, and progressive lamination process with no additional fugitive material. An example on LTCC meso-analytical system for chloride ion determination in drinking waters is introduced.

关 键 词：LTCC 微流控系统 综述 微通道 制作 内埋置 

分 类 号：TM28[一般工业技术—材料科学与工程]