MEMS热式微流量传感器发展综述  

Development of MEMS Thermal Micro-Flow Sensor

作　　者：张元 李辉[2] 

机构地区：[1]芜湖科技创新服务中心,安徽芜湖241001 [2]安徽师范大学物理与电子信息学院,安徽芜湖241000

出　　处：《中国西部科技》2015年第1期13-15,共3页Science and Technology of West China

基　　金：安徽师范大学青年教师科研专项资助基金(基金号160-721340);安徽省高等学校省级自然科学研究项目(项目号:KJ2013Z094)

摘　　要：MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点,在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEMS热式流量传感器的工作原理和基本结构,随后阐述了此类传感器的分类、发展历史与技术特性,最后展望了其今后的发展趋势和应用前景。MEMS thermal micro-flow sensors own the advantages of high sensitivity, wide measurement range, and short response time, which provide important practical values for Biochemistry and Medicine. First, we introduced the operating principles and fundamental structures of MEMS. Secondly, the classification, developing history and technical characteristics were elaborated. The developing tends and application prospects were also discussed in the end.

关 键 词：微流量传感器 MEMS 热温差 灵敏度 

分 类 号：TH814[机械工程—仪器科学与技术]