微流量传感器

作品数：40被引量：65H指数：5
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相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：贾宏光庞江涛吴一辉王家畴刘理天更多>>
相关机构：清华大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大连理工大学更多>>
相关期刊：《现代制造》《仪器仪表学报》《测试技术学报》《压电与声光》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部重点实验室开放基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
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仿生纤毛微流量传感器及其制备方法
《光学精密工程》2022年第16期1968-1977,共10页李俊忠 廖晓波 许世林 庄健 蔡勇 
国家自然科学基金项目(No.52175515);制造过程测试技术教育部重点实验室开放基金项目(No.19kfzk01)。
针对微流体流量测量难度大且精度不高的问题,本文基于压阻原理设计了一种悬臂梁结构的仿生纤毛微流量传感器。本文首先对比分析了现有热线式、压电式和压阻式微流量传感器的优缺点,基于压阻式传感器的应变与阻值之间呈现线性关系的优点...
关键词：液滴限制电沉积 仿生纤毛微流量传感器 有限元分析与仿真 
新型双模热感微流量传感器的研究被引量：1
《仪器仪表学报》2021年第7期73-80,共8页吴慰 关镐强 李金贝奇 王瑞金 朱泽飞 
国家自然科学基金(11572107)项目资助。
微流量传感器是有着功耗低、响应快、精度高等优点,在汽车工业、航空航天、生物研究、临床诊断等多个领域有广泛的应用。量热微流量传感器是通过测量加热器上下游温差来确定流速的,然而当流速超过一定范围后温差响应将不会随流速的增大...
关键词：热感式 微流量传感器 双模 量热模式 热线模式 
基于显微三维流场构建的纳升尺度流量测量新方法研究
《中国科技成果》2020年第17期18-19,共2页王昊利 韩巍 徐明 
纳升尺度(1~103,nL/s)是当前微流量测量的极限尺度.发展纳升尺度流量测量技术对于研究微纳流体器件的动量、能量及质量传递规律、实现传递过程精确分析具有重要科学意义.近20年来,在生物、医学、化学、材料以及国计民生等诸多领域器件...
关键词：微流量传感器 流量测量技术 流量检测 微纳加工技术 流量计量 传递规律 MEMS技术 传递过程 
微流量闭环控制系统的分析与研究
《石家庄学院学报》2015年第6期16-19,共4页林琳 
对微流量控制系统的组成、机理、国内外在该领域的研究状况以及系统的应用前景进行了简要介绍.而实现微流体的闭环控制是实现高精度试剂分配的重要发展趋势,鉴于压电泵在该领域的固有优势及缺陷,将微流量传感器与压电泵集成,进行流体的...
关键词：微流体系统 闭环控制 压电泵 微流量传感器 脉冲驱动 
在线氧含量分析仪OXYMAT 6在丙烯酸化工装置中的应用
《石化技术》2015年第2期27-28 35,共3页林进雄 
在丙烯酸化工装置采用了西门子OXYMAT 6在线氧含量分析仪用于装置反应器入口氧含量分析。本文详细介绍了西门子磁微压式顺磁在线氧分析仪OXYMAT 6的原理和结构及这些特点在丙烯酸化工装置氧含量安全监测中的成功应用,同时结合实际使用...
关键词：氧含量分析仪 西门子OXYMAT 6 顺磁性 微流量传感器 
微流量测量方法及其技术的发展被引量：2
《计测技术》2015年第1期1-8,共8页胡纯 樊尚春 郑德智 
国家自然科学基金资助项目(61121003);教育部创新团队资助项目(IRT1203);教育部新世纪人才资助项目
归纳了近五年来基于MEMS技术的微流量传感器结构及性能参数。根据国际上热门的研究方法推断微流量测量技术可能的发展方向与研究趋势,即集成两种或两种以上的测量方法,实现优势互补,提高测量精度或扩大量程比。最后基于现有的技术基础,...
关键词：微流量传感器 MEMS 科氏效应 差压效应 数据融合 
高于室温环境的热式气体微流量传感器性能分析被引量：4
《传感技术学报》2015年第2期160-164,共5页李伟 李杰超 闫卫平 
国家自然科学基金项目(61376115)
为了探索平板微热管的传热特性,了解微热管内不同温度区间的蒸汽传输特性,开展了热式气体微流量传感器及其检测系统的设计。设计了一种便于探索最佳温度测量点的热式微流量传感器结构,利用MEMS工艺进行加工制作,在不同环境温度下对其性...
关键词：热式气体微流量传感器 Pt薄膜电阻 流量检测系统 高于室温环境 
MEMS热式微流量传感器发展综述被引量：7
《中国西部科技》2015年第1期13-15,共3页张元 李辉 
安徽师范大学青年教师科研专项资助基金(基金号160-721340);安徽省高等学校省级自然科学研究项目(项目号:KJ2013Z094)
MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点,在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEMS热式流量传感器的工作原理和基本结构,随后阐述了此类传感器的分类、发展历史与技术特性,最后展望了其...
关键词：微流量传感器 MEMS 热温差 灵敏度 
MEMS热膜式微流量传感器被引量：3
《微纳电子技术》2013年第7期434-441,共8页侍艳华 何秀丽 高晓光 贾建 李建平 
国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA04Z328)
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5～5 mL/min时...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微流量传感器 热膜式 温度补偿 Pt薄膜电阻 
用于光气动探测的微流量传感器被引量：1
《仪表技术与传感器》2013年第3期1-3,6,共4页赵永翠 何秀丽 赵玲 李建平 高晓光 贾建 
国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA04Z328)
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形Pt薄膜作为加热及测温电阻,其电阻-温度系数(TCR)约2.2×10-3/℃.Pt薄膜采用4μm厚氮化硅悬梁作支撑,在12...
关键词：非分光红外 光气动探测 微流量传感器 
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