基于显微三维流场构建的纳升尺度流量测量新方法研究  

作　　者：王昊利[1,2] 韩巍 徐明 

机构地区：[1]金陵科技学院机电工程学院,江苏南京211169 [2]中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018 [3]中石油管道有限责任公司西气东输分公司南京计量测试中心,江苏南京210046 [4]宁波市计量测试研究院,浙江宁波315042

出　　处：《中国科技成果》2020年第17期18-19,共2页China Science and Technology Achievements

摘　　要：纳升尺度(1~103,nL/s)是当前微流量测量的极限尺度.发展纳升尺度流量测量技术对于研究微纳流体器件的动量、能量及质量传递规律、实现传递过程精确分析具有重要科学意义.近20年来,在生物、医学、化学、材料以及国计民生等诸多领域器件的微型化、测量及控制精细化要求的大背景下,面向纳升尺度的流量检测已成为流量计量领域的前沿方向和亟待突破的难点技术.随着微纳加工技术的发展,基于MEMS技术的微流量传感器件研究取得了较大进展,成为广泛使用的微流量测量方法.

关 键 词：微流量传感器 流量测量技术 流量检测 微纳加工技术 流量计量 传递规律 MEMS技术 传递过程 

分 类 号：G63[文化科学—教育学]