赵永翠

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：压焊红外技术红外光源光学窗口管座更多>>
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用于光气动探测的微流量传感器被引量：1
《仪表技术与传感器》2013年第3期1-3,6,共4页赵永翠 何秀丽 赵玲 李建平 高晓光 贾建 
国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA04Z328)
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形Pt薄膜作为加热及测温电阻,其电阻-温度系数(TCR)约2.2×10-3/℃.Pt薄膜采用4μm厚氮化硅悬梁作支撑,在12...
关键词：非分光红外 光气动探测 微流量传感器 
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