重掺锑直拉单晶硅的掺氮效应  

作　　者：韩建超 

机构地区：[1]上海合晶硅材料有限公司

出　　处：《世界有色金属》2015年第1期36-38,共3页World Nonferrous Metals

摘　　要：本文研究了Si3N4熔融掺氮条件下重掺锑直拉单晶硅的性质。实验结果表明,掺氮重掺锑直拉单晶硅比一般的重掺锑直拉单晶硅具有更低密度的0.2-0.3μm尺寸COP,经过高温热处理之后,HSb-NCZSi具有更高的与氧沉淀相关的体微缺陷密度,此外,其对应硅片的机械强度也比HSb-CZSi增强。

关 键 词：直拉单晶硅 高温热处理 抛光片 微缺陷 机械强度 密度比 沉淀相 位错滑移 高热稳定性 吸杂 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]