基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群  

Integrated system of imaging,micro-manipulation and fabrication based on environmental scanning electron microscopy

作　　者：敖卓[1] 陈佩佩[1] 殷伯华[2] 谢家仪[1] 孙全梅[1] 齐若梅[3] 韩立[2] 韩东[1] 

机构地区：[1]国家纳米科学中心,北京100190 [2]中国科学院电工研究所,北京100190 [3]卫生部北京医院,北京100730

出　　处：《电子显微学报》2015年第1期48-54,共7页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(No.Y2332911ZX);中国科学院科研装备研制和改造项目(Nos.Y2005024;YZ201201)

摘　　要：环境扫描电子显微镜是在扫描电子显微镜基础上引入可以进行在含水条件下观察非导电性样本的相关技术,因此其极为适合生物样本的观察。基于环境扫描电子显微镜平台,本课题组发展了一整套集形貌观察、物性测量、三维微操控和电子束微加工为一体的设备功能群,集经典生物医学研究方法:表征、解剖、取样、标记,延伸入微、纳米介观层次,为更加深入研究生物医学问题提供实用的工具。本文对此进行了详细地说明和介绍,并举例说明其在医学、材料、微弱力测量和微加工等方面的应用。Environmental scanning electron microscopy （ ESEM） is made from regular SEM with addition techniques for imaging non-conductive samples at water vapor atmosphere. Based on the ESEM, we developed an integrated system for imaging, characterizing, micromanipulation and electron beam lithography, which introduced the traditional medical method into the micro／nano-scale. It provides practical tools for biological and medical researches in the mesoscope. Herein we made a detailed introduction and introduced a few samples in the applications of medicine, material, micro force measurement and micro fabrications.

关 键 词：环境扫描电子显微镜 低真空模式 微操纵 微弱力测量 电子束曝光 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学] Q336[生物学—遗传学]