应用材料公司推出革命性的针对FinFET晶体管和3D NAND器件的电子束量测设备  

出　　处：《电子工业专用设备》2015年第3期57-57,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：全球领先的半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案供应商应用材料公司,在加利福尼亚州圣何塞举行的国际光学工程学会（SPIE）先进光刻技术大会上,推出了业界首款在线3D扫描电子线宽量测系统,成功解决了针对高纵横比和3D NAND及Fin FET等复杂功能器件量测方面的挑战。

关 键 词：NAND 应用材料公司 FINFET 量测技术 量测系统 功能器件 工程解决方案 光刻技术 光学工程 加利福尼亚州 

分 类 号：TN386[电子电信—物理电子学]