自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器的研究  

作　　者：高升谦 傅刚[1] 刘志宇[1] 王笑天[1] 

机构地区：[1]广州大学固体物理与材料研究实验室,广东广州510006

出　　处：《科技创新导报》2015年第15期4-5,共2页Science and Technology Innovation Herald

摘　　要：利用硅基MEMS工艺,通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀<100>晶向硅片,结合SiO_2薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、光刻工艺、lift-off工艺,制备了一种自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器。L型悬臂梁结构比直线型结构应力分布均匀。标定了微加热器的R-T曲线、Ⅰ-Ⅴ曲线。微加热器在工作电压为2.3V时,加热电阻值为60.96Ω,功耗为86.72mV,可获得673K的工作温度。

关 键 词：MEMS 均热板 悬臂梁 微弹簧 微加热器 

分 类 号：TN37[电子电信—物理电子学]