微加热器

作品数：34被引量：52H指数：4
导出分析报告
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：李铁王跃林徐进良张尔攀郑平更多>>
相关机构：中国科学院台湾爱司帝科技股份有限公司上海交通大学华中科技大学更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《半导体杂志》《清华大学学报（自然科学版）》《传感技术学报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划广东省自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于铝基含能配合物及CL-20含能微芯片的制备及表征
《火炸药学报》2024年第5期438-444,I0004,共8页孟珂娟 马小霞 李宇翔 张开黎 
应用物理化学重点实验室基金(No.6142602210203)。
为提高含能微芯片的能量特性和燃烧特性,推进其在微推进器、微驱动器、微毁伤器等装置中的应用,通过在铜箔上原位生长含能配位聚合物(ECP)、电子束沉积n-Al及重结晶CL-20的方法制备了ECP@Al@CL-20的含能阵列,采用SEM、XRD、TG/DSC及高...
关键词：含能配位聚合物 微机电系统 纳米铝 CL-20 微加热器 含能微芯片 ECP MEMS 
Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究
《传感器与微系统》2022年第1期7-9,14,共4页仲逸飞 刘景全 
国家自然科学基金资助项目(61728402)。
以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性...
关键词：微型加热器 微机电系统 Evanohm合金 低温 
基于MEMS工艺的碱金属蒸气腔室微加热器
《微纳电子技术》2021年第6期509-514,共6页仲逸飞 林祖德 刘景全 
国家自然科学基金资助项目(61728402)。
碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一种可用于双腔体蒸气腔室的微型加热器,并利用仿真估算了微加热器的加热效果。基于微电子机械系统(MEMS)薄...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微加热器 碱金属 原子钟 氧化铟锡(ITO) 
微加热器上不同工质的气泡动力学实验
《武汉工程大学学报》2019年第2期173-178,共6页张旭浩 范聪 余海洋 黄雪琴 邓佩刚 
设计并采用MEMS工艺制造了一种特征尺寸10μm并能产生单一稳定微米气泡的Pt薄膜加热摄像头和MATLAB程序定量研究了在乙醇、除气水和纳米流体中微气泡的动力学过程。研究发现:不同流体中,随着脉冲宽度的增加气泡直径增大,所需的起始功率...
关键词：微加热器 气泡动力学 脉冲 纳米流体 
矿用MEMS甲烷传感器硅微加热器功率优化设计被引量：3
《工矿自动化》2018年第10期19-23,共5页王丽影 秦顺利 马洪宇 
国家重点研发计划资助项目(2017YFC0804403);江苏省自然科学基金资助项目(BK20161186)
在ANSYS有限元分析软件中对矿用微机电系统(MEMS)甲烷传感器硅微加热器功率进行了优化设计。首先建立了基于已知掺杂浓度求解一定温度范围内硅电阻率的计算模型;然后根据计算结果,利用ANSYS软件对U型双悬臂梁式硅微加热器进行了以掺杂...
关键词：煤矿安全 MEMS甲烷传感器 硅微加热器 功率优化 掺杂浓度 有限元分析 正交试验 
基于氧化石墨烯微加热器的微气泡研究
《华南师范大学学报（自然科学版）》2017年第6期24-27,共4页李宗宝 刘绍静 周瑞雪 陈伊琳 朱德斌 黄雯 邢晓波 
长江学者和创新团队发展计划项目(IRT13064);广东省引进创新科研团队计划项目(2011D039);国家自然科学基金项目(61177077,81371877);广东省自然科学基金项目(2013B090500123,2014A030313432,2016A020221030,2013B090500034);贵州省自然科学基金项目(黔科合基础[2016]1150)
氧化石墨烯具有良好的光热转换效率,能在微纳米尺度的区域内形成热梯度场.利用氧化石墨烯沉积在微纳米光纤表面可组成微加热器,输入红外光(ASE宽带光源产生的光),微加热器会加热周围液体,并在微纳米光纤上产生微热气泡和椭球形微气泡,...
关键词：氧化石墨烯 微加热器 微热气泡 椭球形微气泡 光热转化效率 
新型共平面微气体传感器微热板的优化设计被引量：4
《仪表技术与传感器》2017年第9期17-19,23,共4页官修龙 刘丽 何越 王连元 
吉林省科技厅重点科技攻关项目(20140204027GX)
利用金属铂良好的热敏、热阻特性,以及Si O2良好的绝热、绝缘性能,设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气体传感器。为了使该传感器获得高且均匀的温度分布,利用有限元软件ANSYS对该传感器的电极和基底进行仿真...
关键词：微气体传感器 ANSYS 微加热器 温度分布 
热气泡式微流体驱动器的研究进展被引量：2
《北京工业大学学报》2016年第8期1129-1137,共9页刘本东 孙建闯 侯岳鹏 苏彦强 李德胜 
国家自然科学基金资助项目(51105011);北京市教育委员会科技计划项目(KM201210005015)
热气泡式微流体驱动器是微驱动的一个研究分支,是微流控器件的重要组成部分.热气泡式微流体驱动器没有机械可动部件和机械变形,结构简单、容易加工制造、可靠性高,在航空航天、生物医学和化学等领域具有广阔的应用前景.目前,热气泡式微...
关键词：微驱动器 热气泡 微流体 微加热器 
基于微加热器平台的高性能甲烷传感器被引量：3
《郑州大学学报（工学版）》2016年第3期40-43,共4页郭联峰 许宗珂 段国韬 李铁 
国家科技支撑计划课题(2012BAJ11B01);国家自然科学基金创新群体项目(61321492);国家自然科学基金重大研究计划集成项目(91323304)
设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜...
关键词：甲烷传感器 微加热器平台 原位制备二氧化锡 模板法 微纳融合 
微纳甲烷传感技术的研究被引量：6
《工矿自动化》2016年第3期16-20,共5页丁恩杰 马洪宇 
"十二五"国家科技支撑计划资助项目(2012BAH12B01)
针对矿山物联网发展对甲烷传感器低功耗、微型化、低成本的设计要求,对一种基于微纳米技术的载体催化燃烧式甲烷传感器展开研究,着重介绍了该种甲烷传感器的微加热器及低维甲烷传感方面的研究现状及相应成果,并介绍了一种新型金属-绝缘...
关键词：甲烷传感器 微纳米技术 微加热器 
全选清除导出
共4页<1234>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部