云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 郭联峰

郭联峰: 作品数：1被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>; 发文主题：微加热器氮氧化物红外光源硅片刻蚀更多>>; 发文领域：自动化与计算机技术更多>>; 发文期刊：《郑州大学学报（工学版）》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>

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基于微加热器平台的高性能甲烷传感器被引量：3: 《郑州大学学报（工学版）》2016年第3期40-43,共4页郭联峰许宗珂段国韬李铁; 国家科技支撑计划课题(2012BAJ11B01);国家自然科学基金创新群体项目(61321492);国家自然科学基金重大研究计划集成项目(91323304); 设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜...; 关键词：甲烷传感器微加热器平台原位制备二氧化锡模板法微纳融合