日本企业推出直径仅1cm的六轴力觉传感器  

作　　者：日经 

出　　处：《军民两用技术与产品》2016年第1期40-40,共1页Dual Use Technologies & Products

摘　　要：13本信号株式会社推出了基于微机电系统（MEMS）技术的超小型六轴力觉传感器。其采用该公司研发的电磁驱动式MEMS光扫描仪“ECOSCAN”的技术经验，主要用于机器人和计量测量仪器领域。

关 键 词：力觉传感器 日本企业 六轴 直径 技术经验 微机电系统 电磁驱动式 株式会社 

分 类 号：TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]