6产品名称：紫外纳米压印光刻机URE-2000／35NI  

出　　处：《电子工业专用设备》2016年第2期44-45,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：研制单位： 中国科学院光电技术研究所 产品介绍： URE-2000／35NI紫外纳米压印光刻机是中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队近年来在微纳制作设备领域里的又一力作。该设备兼具传统接近接触式光刻以及高分辨力压印两大功能，能够跨尺度的实现微米到纳米量级图形曝光，满足不同器件的加工需求。

关 键 词：纳米压印 光刻机 产品名称 紫外 中国科学院 电子专用设备 光电技术 制作设备 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]