EV集团将GEMINI~300mm自动化生产晶圆键合系统带入微电子机械系统制造业  

出　　处：《电子工业专用设备》2016年第2期61-61,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：EV集团（EVG）是微电子机械系统（MEMS）、纳米技术及半导体市场中一家领先的晶圆键合及光刻设备供应商，该集团宣布其EVGGEMINI 300mm自动化生产晶圆键合系统即将应用于未来的（MEMS）微电子机械系统大批量制造（HVM）。这是微电子机械系统工业（MEMS）的重要里程碑。

关 键 词：微电子机械系统 自动化生产 GEMINI 键合 晶圆 EV 制造业 设备供应商 

分 类 号：TH-39[机械工程]