硅光栅技术  

作　　者：栾光辉[1] 刘剑[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130022

出　　处：《光机电信息》2002年第8期13-15,共3页OME Information

摘　　要：制作硅光栅的微细加工工艺可分为体硅工艺和面硅工艺,这些微细加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容,这使得制作集成式微型光谱仪成为可能。硅是一种良好的近红外材料,可以用来制作天文红外光谱仪器的浸没光机。本文重点介绍了硅光栅的制作工艺及其在不同领域中的应用。

关 键 词：硅光栅 微细加工工艺 体硅工艺 面硅工艺 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学] TN405