MEMS规模制造技术基础研究  

出　　处：《中国科技成果》2016年第7期24-24,28,共2页China Science and Technology Achievements

基　　金：国家重点基础研究发展计划（975）项目（2011CB309500）.

摘　　要：本项目针对我国MEMS走向产业化遇到的规模制造能力薄弱的瓶颈问题，通过产学研用结合的方式，开展多物理场作用下的微机械结构应力、微机械结构特性与工艺精度的关系、多材料多物性的兼容以及工艺质量评价方法等MEMS规模制造技术基础问题的研究工作。突破涉及规模制造的一致性、

关 键 词：制造技术 MEMS 基础研究 质量评价方法 工艺精度 制造能力 结构应力 结构特性 

分 类 号：TH-39[机械工程]