电子学与电子工程  

出　　处：《电子科技文摘》2001年第4期1-1,共1页Sci.& Tech.Abstract

摘　　要：SPIE-Vol.3680 01054051999年 SPIE 会议录,卷3680:微电机械系统与微光机械系统设计、测试与微制造=1999 proceedings ofSPIE.Vol.3680:design,test,and microfabrication ofMEMS and MOEMS[会,英]/SPIE-The InTernationalSociety for Optical Engineering.—1999.—1192P.(PC)

关 键 词：微电机械系统 微制造 机械系统设计 会议录 微机械加工 测试 微光 电子工程 微机电系统 电子学 

分 类 号：TN[电子电信]