半导体器件  

出　　处：《电子科技文摘》2003年第7期21-21,共1页Sci.& Tech.Abstract

摘　　要：SPIE-Vol.4275 0314229SPIE 会议录,卷4275:微加工中基于计量学的控制=Proceedings of SPIE,Vol.4275:Metrology-based con-trol for micro-manufacturing[会,英]/SPIE-The Interna-tional Society for Optical Engineering.—156P.(E)本会议录收集了在美国 San JOSe 召开的微加工中基于计量学的控制会议上发表的16篇论文。

关 键 词：半导体器件 微加工 会议录 SPIE PROCEEDINGS 可编程逻辑器件 电子产品可靠性 超深亚微米 半导体工业 空间光调制器 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]