MEMS工艺中气相腐蚀系统研究现状  

作　　者：胡艳琴[1] 冯治祺 何欣[1] 马宏伟[1] 张红霞[1] 王宁宁[1] 左显维[1] 

机构地区：[1]甘肃省科学院传感技术研究所

出　　处：《电子制作》2016年第08X期35-36,共2页Practical Electronics

基　　金：甘肃省科学院青年科技创新基金项目(2012QN-05;2014QN-18)

摘　　要：本文介绍了气相腐蚀系统,着重于低能气相腐蚀,其新颖的双循环模式,可保证腐蚀速率随时间维持恒定以提高腐蚀质量和效率,也可解决低能气相腐蚀系统中腐蚀不均匀、过腐蚀和表面玷污等关键问题。

关 键 词：低能气相腐蚀 腐蚀速率 MEMS 

分 类 号：TH-39[机械工程] TG174[金属学及工艺—金属表面处理]