胡艳琴

作品数：3被引量：5H指数：1
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供职机构：甘肃省科学院更多>>
发文主题：MEMS腐蚀速率低能NASICON固体电解质更多>>
发文领域：理学机械工程电气工程医药卫生更多>>
发文期刊：《自动化仪表》《环境化学》《电子制作》更多>>
所获基金：甘肃省自然科学基金甘肃省应用技术研究与开发专项计划项目更多>>
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低能气相腐蚀系统的建模与仿真
《自动化仪表》2017年第6期15-18,共4页张红霞 杨旭辉 马芳兰 胡艳琴 徐武德 马宏伟 
甘肃省科学院青年科技创新基金资助项目(2014QN-18);甘肃省科学应用研究与开发计划(2013JK-01)
低能气相腐蚀系统在微电子机械系统(MEMS)生产工艺中的应用非常广泛,但是该系统的设计和开发十分复杂。为了降低系统设计的复杂度和生产成本,对低能气相腐蚀系统进行了基于可视化开发工具Lab VIEW的建模和仿真。以Xe F2腐蚀MEMS中的无...
关键词：MEMS 腐蚀系统 低能气相 腐蚀速率 LABVIEW 牺牲层 建模 仿真 
基于MoS_2纳米片的荧光生物传感器对饮用水中Hg^(2+)的检测被引量：4
《环境化学》2017年第1期167-174,共8页左显维 冯治棋 胡艳琴 何欣 金燕子 韩根亮 
甘肃省自然科学基金(1606RJZA143);甘肃省科学院应用研究与开发项目(2014HZ-06;2015JK-09)资助~~
本文利用MoS)2纳米片优异的荧光淬灭能力以及其与DNA分子之间的相互作用,构建了一种检测Hg^(2+)的新型荧光生物传感器,并考察了其用于饮用水中微量Hg^(2+)测定的可行性.实验优化了MoS_2纳米片浓度、p H值、盐浓度及反应时间等参数对荧...
关键词：MoS2纳米片 荧光生物传感器 Hg2+检测 T-Hg2+-T结构 
MEMS工艺中气相腐蚀系统研究现状被引量：1
《电子制作》2016年第08X期35-36,共2页胡艳琴 冯治祺 何欣 马宏伟 张红霞 王宁宁 左显维 
甘肃省科学院青年科技创新基金项目(2012QN-05;2014QN-18)
本文介绍了气相腐蚀系统,着重于低能气相腐蚀,其新颖的双循环模式,可保证腐蚀速率随时间维持恒定以提高腐蚀质量和效率,也可解决低能气相腐蚀系统中腐蚀不均匀、过腐蚀和表面玷污等关键问题。
关键词：低能气相腐蚀 腐蚀速率 MEMS 
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