具有扩展触头的碳纳米管晶体管  

出　　处：《电工材料》2016年第5期46-46,共1页Electrical Engineering Materials

摘　　要：一种半导体器件，包含沿着第一方向延伸以界定长度且沿着与第一方向垂直的第二方向延伸以界定高度的基板。该基板包含电介质层以及形成于电介质层上的至少一个栅极叠层。

关 键 词：碳纳米管晶体管 触头 半导体器件 介质层 基板 界定 

分 类 号：TM503.5[电气工程—电器]