AWG用Si基SiO_2波导材料的制备  

Fabrication of Si-based Silica Waveguide Material Applied in AWG

作　　者：张乐天[1] 吴远大[1] 邢华[1] 李爱武[1] 郑伟[1] 刘国范[1] 张玉书[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子科学与工程学院

出　　处：《光电子．激光》2002年第8期868-871,共4页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：国家重点基础研究发展规划资助项目 (G2 0 0 0 0 3 660 2 )

摘　　要：平面光波导在光波分复用技术中起着重要的作用 ,尤其是 Si基 Si O2 波导器件在光通信领域中具有许多优点。因此 ,如何在 Si衬底上制备出性能稳定良好的 Si O2 光波导材料至关重要。本文介绍了几种制备 Si O2Planar optical waveguides provide various important and functional devices for optical wavelength division multiplexing(WDM).Silicon based silica waveguide devices have advantages in fiber communication system.Therefore,it is important to bafricate well performance and high reliability SiO 2 on Si substrate.In this paper,we review some technologies in the fabrication of silica waveguide.

关 键 词：AWG SiO2 波导材料 波分复用 热氧化法 溶胶-凝胶法 阳极氧化法 化学汽相法 火焰水解法 二氧化硅 列阵波导光栅 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]