一种MEMS惯性测量单元的设计与实现  

作　　者：鞠莉娜 王甫 乔伟 高玉霞 周铭 

机构地区：[1]中国兵器工业第214研究所,苏州215163

出　　处：《集成电路通讯》2016年第4期1-5,共5页

摘　　要：MEMS惯性测量单元（MIMU）具有微型化、可集成化、智能化、低功耗、低成本、高可靠性、易批量生产等一系列优点。针对常规制导弹药的需求，以MEMS陀螺仪、加速度计惯性传感器为基础，设计了一种MEMS惯性测量单元并进行了高过载的建模与仿真分析，验证样品分别采用机械冲击与空气试验、性能满足需求，与仿真结果相吻合。

关 键 词：MEMS 惯性测量 抗冲击 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]