MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测  

Weak signal detection of MEMS hot-film wall shear stress sensors

作　　者：孙海浪[1] 田于逵[1] 金磊 张璇[1] 谢华[1] 

机构地区：[1]中国船舶科学研究中心水动力学国防科技重点实验室,江苏无锡214082 [2]杭州金恒电源科技有限公司,杭州311112

出　　处：《实验流体力学》2017年第2期39-43,共5页Journal of Experiments in Fluid Mechanics

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ04091107)

摘　　要：MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号,无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量。文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节,在保留有效信号的前提下减小基础电压,再通过放大的方法实现其高精度测量,有效解决了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的难题。文章介绍了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的技术方案、关键技术、测试检验及试验应用实例。The weak signal of MEMS hot-film wall shear stress （WSS） sensors is hard to de- tect by direct amplification due to the inherent basic voltage. An effective method to solve this problem is proposed, which is to add an output-balancing system （OBS） before the signal is am- plified. The basic voltage is decreased while the signal is retained. The development of the out- put-balancing system is presented, including the technical scheme, key technologies, examination and application.

关 键 词：微机电系统 热膜 壁面剪应力 传感器 微弱信号检测 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]