研发高速小型分子泵 保障科学仪器研制——中国工程物理研究院何朝晖团队成果  

作　　者：陶继忠 

出　　处：《科技成果管理与研究》2017年第5期52-54,共3页Management And Research On Scientific & Technological Achievements

摘　　要：分子泵是主流的真空获得设备，具有抽气性能高、气氛洁净、连续工作、操作简便、能抽除各种气体等优点。高速小型复合分子泵作为众多分析测试仪器的关键核心部件，技术难度非常大。目前，面向科学仪器等高端应用的小型复合分子泵被德国普发、美国安捷伦、英国爱德华兹等公司垄断，严重阻碍着我国科学仪器的健康生存和发展。

关 键 词：中国工程物理研究院 科学仪器 分子泵 研发 保障 真空获得设备 分析测试仪器 抽气性能 

分 类 号：TB13-24[理学—物理]