陕西有色光电科技公司氮化硅薄膜沉积工艺取得突破  

作　　者：刘碧峰 

出　　处：《中国有色金属》2017年第18期22-22,共1页China Nonferrous Metals

摘　　要：日前，通过对工艺技术的创新研发和反复实验，陕西有色光电科技有限公司太阳能电池PECVD工序取得了关键技术突破，研发出沉积三层氮化硅膜的最优工艺条件，电池片转化效率提升了0．07％～0．1％，现已导入产线批量生产。

关 键 词：沉积工艺 光电科技 氮化硅薄膜 陕西 太阳能电池 最优工艺条件 PECVD 氮化硅膜 

分 类 号：TQ153.2[化学工程—电化学工业]