氮化硅膜

作品数：50被引量：105H指数：5
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基于Fabry-Perot的高灵敏度局部放电检测传感器被引量：1
《传感器与微系统》2023年第7期90-93,共4页吴明孝 李雪桓 周少珍 杨威 付刚 
国网河南省电力公司科技攻关项目(002126)。
提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器。利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成。实验分析了传感器不同膜片结构的性能。结果表明:所提出的传感器1 kHz声信号下,声压为38.86 ...
关键词：光纤传感器 光纤法布里—珀罗 氮化硅膜 波纹膜结构 
低压化学气相沉积制备低应力氮化硅膜的研究
《电子工业专用设备》2023年第2期1-5,9,共6页张泽东 申强 周健 祖二健 
采用低压化学气相沉积方法,通过改变工艺气体配比,在硅衬底上生长低应力氮化硅薄膜。用应力仪、椭偏仪对生成的氮化硅薄膜的应力、生长速率、均匀性、折射率及腐蚀速率等进行实验。实验结果表明:低应力氮化硅薄膜制备的关键是增大DCS和...
关键词：低应力 氮化硅 薄膜 折射率 
电感耦合等离子体串联质谱法测定半导体级磷酸中15种痕量杂质元素被引量：2
《理化检验（化学分册）》2022年第7期787-790,共4页王金成 王沿方 周浩 李晓丽 贾逸豪 
半导体级磷酸是电子行业使用的一种超高纯化学试剂,广泛应用于超大规模集成电路、薄膜液晶显示器等微电子工业,主要用于硅晶片中氮化硅膜、镀金属膜和铝硅合金膜的湿法清洗和蚀刻[1-2]。在硅晶片的蚀刻过程中,磷酸中痕量杂质元素对电子...
关键词：痕量杂质元素 金属膜 过渡金属 微电子工业 硅晶片 液晶显示器 超大规模集成电路 氮化硅膜 
PECVD反应腔内置辅助加热对氮化硅膜沉积的影响被引量：1
《中小企业管理与科技》2021年第29期182-184,共3页李晔纯 张弥涛 李明 郭艳 
典型加热方式的反应腔已逐渐难以满足硅片尺寸增大、装片量要求增多情况下的生产需要,论文提出在反应腔中内置辅助加热装置,并进行对比实验分析其对工艺的影响。实验结果显示,辅助加热装置在缩短升温时间、提升设备产能的情况下,得到更...
关键词：PECVD 辅助加热 工艺时间 均匀性 
PECVD氮化硅薄膜钝化特性研究被引量：2
《电子世界》2021年第14期21-22,共2页李倩 
采用江苏微导纳米装备科技有限公司生产的管式镀膜设备,使用PECVD的方法制备氮化硅(SiNx)膜,测试不同工艺温度,射频功率下氮化硅膜的钝化效果,得出最佳工艺条件为:工艺温度450~500℃,射频功率12000W,并在该工艺条件下制备正面膜厚80nm,...
关键词：少子寿命 氮化硅薄膜 钝化效果 工艺温度 减反射膜 PECVD 氮化硅膜 射频功率 特性研究 
一种新型气体探测器的研制被引量：2
《同位素》2020年第2期95-101,I0002,共8页于波 赵庆章 何明 庞义俊 张宇轩 胡畔 王芳芳 武绍勇 姜山 
国家自然科学基金资助项目(11705287,11875326,11575296,11675269,11765004)
加速器质谱(accelerator mass spectrometry,AMS)技术因探测对象不同,探测器也应根据需要进行选择。为建立低能量重离子加速器质谱测量技术,本文设计制作一台新型气体探测器并调试应用。该探测器采用厚度50 nm,膜面积8 mm×8 mm的氮化...
关键词：加速器质谱 气体探测器 氮化硅膜 低能量重离子 
专利
《建筑玻璃与工业玻璃》2019年第10期48-50,共3页
一种超高可见光透过率的镀膜玻璃及其制备方法公开(公告)号:CN105130208B公开(公告)日:2019.04.02申请(专利权)人:青岛锦绣前程节能玻璃有限公司本发明公开了一种超高可见光透过率的镀膜玻璃及其制备方法,属于镀膜玻璃技术领域,包括玻...
关键词：镀膜玻璃 玻璃基体 节能玻璃 可见光透过率 辐射率 氮化硅膜 氧化铌 氧化锌铝 
晶硅太阳电池多层减反射膜设计与分析被引量：3
《电源技术》2019年第3期483-485,共3页王鑫 卢刚 康海涛 张治 杨勇洲 
内蒙古自治区N型HIBC结构太阳电池设计和关键技术研究项目(2016-016-HHS-KJ-X)
采用等效界面概念,通过导纳矩阵法,建立晶硅太阳电池多层膜模型,利用PC1D进行仿真设计研究,优化多层膜各层的厚度、折射率等参数,给出了多层膜的设计方法,得出优化后的多层膜参数。通过对一、二、三层膜优化设计及仿真对比,表明三层膜...
关键词：晶硅太阳电池 PC1D仿真 氮化硅膜 减反射 
薄窗型多阳极气体探测器研究进展被引量：3
《同位素》2018年第6期385-389,共5页赵庆章 于波 庞义俊 张宇轩 王芳芳 孟齐 武绍勇 姜山 何明 
国家自然科学基金资助项目(11765004;11705287;11775057)
薄窗型气体探测器是最近发展并用于低能量加速器质谱探测技术。该探测器的入射窗采用氮化硅膜,薄而均匀,分辨率高,目前已在低能量粒子探测技术中得到初步应用,显示出广泛的应用前景。本文主要从薄窗型气体探测器基本原理、薄氮化硅膜与M...
关键词：氮化硅膜 低能离子 气体探测器 
陕西有色光电科技公司氮化硅薄膜沉积工艺取得突破
《中国有色金属》2017年第18期22-22,共1页刘碧峰 
日前，通过对工艺技术的创新研发和反复实验，陕西有色光电科技有限公司太阳能电池PECVD工序取得了关键技术突破，研发出沉积三层氮化硅膜的最优工艺条件，电池片转化效率提升了0．07％～0．1％，现已导入产线批量生产。
关键词：沉积工艺 光电科技 氮化硅薄膜 陕西 太阳能电池 最优工艺条件 PECVD 氮化硅膜 
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